POC中试蒸镀系统(热蒸发镀膜)
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磁控溅射机
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光刻机2000A
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OLED蒸镀设备
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感应耦合等离子刻蚀系统
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电子束蒸发镀膜机
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分子能级晶体取向测量系统
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