微纳加工与测试平台是北大深研院大型仪器设施的重要组成部分,是开展校内外教学和科研的重要基地。平台充分结合北京大学的综合学科优势和粤港澳大湾区的电子信息产业优势,打造一流的微纳加工测试平台,支撑新型半导体光电器件、存算一体芯片、后摩尔三维集成、柔性电子系统等前沿领域的研究。平台拥有半导体和集成电路微纳加工与测试相关设备仪器70余台(套),原值近亿元,具备“光刻、沉积、刻蚀、退火、仿真、测试”等完备的工艺模块。

 

负责人:黄德猛

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