等离子体增强化学气相沉积仪
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FTIR傅立叶变换红外光谱仪
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磁控溅射台
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等离子增强化学气相沉积与反应刻蚀复合仪
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薄膜特性分析仪
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半导体参数分析仪B1500A-Pro2(103)
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磁控溅射台2#
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原子层沉积ALD
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半导体测试仪B1500A-Pro(103)
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霍尔效应测试仪Pro
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退火炉
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高低温探针台
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紫外可见分光光度计
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超临界流体反应仪
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ALD1
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原子力显微镜
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